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干貨分享：如何科學(xué)地對CMP拋光機(jī)進(jìn)行定期維護(hù)保養(yǎng)
20267-9

在半導(dǎo)體晶圓加工工藝中，精密拋光設(shè)備用于晶圓全局平坦化處理，是芯片制程核心設(shè)備之一。CMP拋光機(jī)依靠耗材與精密結(jié)構(gòu)協(xié)同完成拋光作業(yè)，日常養(yǎng)護(hù)直接影響加工品質(zhì)。落實(shí)規(guī)范化養(yǎng)護(hù)流程，可有效保障CMP拋光機(jī)的運(yùn)行穩(wěn)定性，延長設(shè)備與耗材使用周期。1、拋光平臺清潔養(yǎng)護(hù)拋光平臺長期作業(yè)易殘留拋光液顆粒與晶圓碎屑，堆積后會影響盤面平整度。每次加工結(jié)束后使用專用清潔液擦拭盤面，沖洗殘留漿料，保持盤面潔凈平整，避免...

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  • “第三代半導(dǎo)體青年”評選活動，是為了營造青年人才成長的環(huán)境，提升*三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力，在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟青年創(chuàng)新促進(jìn)委員會在科技部人才中心的指導(dǎo)下成功舉辦。首屆啟動“第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新青年”評選通知發(fā)出后，得到了領(lǐng)域內(nèi)...

    2017-09-21

  • 穩(wěn)定同位素質(zhì)譜儀一次進(jìn)樣實(shí)現(xiàn)CHNS的同位素比分析，球閥進(jìn)樣設(shè)計(jì)，利用氦氣吹掃功能，實(shí)現(xiàn)零空白進(jìn)樣（標(biāo)準(zhǔn)配置）；三吸附柱于動態(tài)吸附-解吸附CO2、N2、SO2、H2O，實(shí)現(xiàn)基線分離，均為單獨(dú)流路設(shè)計(jì)，無交叉污染；是真正瞬間燃燒+*燃燒，確保...

    2017-07-24

  • 穩(wěn)定同位素質(zhì)譜儀按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測物質(zhì)組成的一類儀器。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀。按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀，穩(wěn)定同位素質(zhì)譜儀按工作原理分為靜態(tài)儀器和動態(tài)儀器。被...

    2017-03-07

  • 化學(xué)拋光設(shè)備能夠處理表面強(qiáng)化處理、降低金屬零件表面粗糙度、光亮拋光、鏡面拋光等難題，鎖使用的電機(jī)轉(zhuǎn)速就比較低，摩擦產(chǎn)生熱有可能燒毀物件。所使用的拋光輔料偏軟、偏細(xì)等等。又能換上拋光盤做車漆護(hù)埋?；瘜W(xué)拋光設(shè)備較重，為2-3kg，但工作起來非常...

    2016-12-22

  • 金剛石是一種純碳物質(zhì)，也是鉆石的原石。近年來，隨著開發(fā)技術(shù)難題的攻克，具有晶瑩質(zhì)感的鉆石不僅僅是女孩們的zui愛，也成為工程師的朋友。由于金剛石的性能，金剛石納米薄膜已經(jīng)在MEMS、表面聲波（SAW）器件、熱量管理及摩擦涂層等方面得到廣泛應(yīng)...

    2016-10-28

  • 氣體分析質(zhì)譜儀多用于生產(chǎn)研究之中來監(jiān)測氣體和進(jìn)行過程分析，氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用的領(lǐng)域十分廣泛：如真空科學(xué)工業(yè)中加速器、高真空、超高真空系統(tǒng)和器件中的氣體分析，航天航空工業(yè)中燃料箱、發(fā)動機(jī)、密封倉安全檢漏、多種氣體分析；電子工業(yè)中真空鍍膜、微波...

    2016-08-29

  • 摘要：對比觀察了不同工藝條件下金剛石線鋸和砂漿線鋸切割晶體Si片的表面微觀形貌；分析了其切割機(jī)理及去除模式；對比分析了三種不同化學(xué)方法鈍化Si片的效果和穩(wěn)定性；采用逐層腐蝕去除Si片的損傷層，使用碘酒對其進(jìn)行化學(xué)鈍化，然后測試其少子壽命，分...

    2016-08-09

  • 研磨指通過研磨的方法，除去切片和輪磨所造成的硅片表面鋸痕及表面的損傷層，有效改善單晶硅片的翹曲度、平坦度與平行度，達(dá)到一個(gè)拋光過程可以處理的規(guī)格。硅片研磨質(zhì)量直接影響到拋光質(zhì)量及拋光工序的整體效率，甚至影響到IC的性能。硅片研磨加工模型如圖...

    2016-05-05

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