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干貨分享:如何科學(xué)地對(duì)CMP拋光機(jī)進(jìn)行定期維護(hù)保養(yǎng)
20267-9

在半導(dǎo)體晶圓加工工藝中,精密拋光設(shè)備用于晶圓全局平坦化處理,是芯片制程核心設(shè)備之一。CMP拋光機(jī)依靠耗材與精密結(jié)構(gòu)協(xié)同完成拋光作業(yè),日常養(yǎng)護(hù)直接影響加工品質(zhì)。落實(shí)規(guī)范化養(yǎng)護(hù)流程,可有效保障CMP拋光機(jī)的運(yùn)行穩(wěn)定性,延長(zhǎng)設(shè)備與耗材使用周期。1、拋光平臺(tái)清潔養(yǎng)護(hù)拋光平臺(tái)長(zhǎng)期作業(yè)易殘留拋光液顆粒與晶圓碎屑,堆積后會(huì)影響盤面平整度。每次加工結(jié)束后使用專用清潔液擦拭盤面,沖洗殘留漿料,保持盤面潔凈平整,避免...

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  • DEMO大連實(shí)驗(yàn)室正式成立,現(xiàn)配有LP70精密研磨拋光設(shè)備、PM6精密研磨拋光設(shè)備、WBS粘片機(jī)等,可承接樣品粘片研磨拋光實(shí)驗(yàn)、用戶理論及操作培訓(xùn)、研磨盤修整、夾具修復(fù)及維護(hù)等多種業(yè)務(wù)。歡迎廣大新老用戶蒞臨指導(dǎo)。

    2019-09-29

  • Logitech公司擁有超過(guò)50年的高精密設(shè)備設(shè)計(jì)和制造經(jīng)驗(yàn)。Logitech精密研磨拋光系統(tǒng)在晶圓表面處理、晶圓減?。ū硿p)和形狀控制方面提供大量的技術(shù)解決方案,尤其在光電材料加工方面?zhèn)涫芡瞥?。選擇Logitech,我們的專家團(tuán)隊(duì)將與您一...

    2018-09-03

  • 通常,標(biāo)準(zhǔn)的晶圓薄片生產(chǎn)可以分為以下步驟:1、現(xiàn)場(chǎng)規(guī)范的刨削和修整;2、對(duì)多孔或易碎的材料進(jìn)行浸漬軟化處理(可選);3、初步研磨切割材料;4、制備均勻厚度的載玻片;5、將樣本粘合到制備的載玻片上;6、稀釋粘合的樣本;7、將樣品研磨至選定的厚...

    2018-08-02

  • Logitech公司50多年來(lái)一直專注于高精密設(shè)備的設(shè)計(jì)和制造,具有豐富的復(fù)雜材料加工處理經(jīng)驗(yàn)。Logitech精密研磨拋光系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶圓表面處理、晶圓減?。ū硿p)和形狀控制方面提供大量的技術(shù)解決方案。選擇Logitech,我們的專家團(tuán)隊(duì)...

    2018-07-12

  • 磷化銦(InP)是由銦(In)和磷(P)組成的二元半導(dǎo)體,屬于一組通常稱為III-V半導(dǎo)體的材料。與硅和砷化鎵等更常見(jiàn)的半導(dǎo)體相比,磷化銦具有*的電子速度,常用于制造高功率和高頻率電子器件。磷化銦晶圓加工磷化銦具有與砷化鎵GaAs和大多數(shù)I...

    2018-06-19

  • 藍(lán)寶石晶圓研磨拋光技術(shù)在現(xiàn)代半導(dǎo)體和光電子行業(yè)中扮演著重要的角色。藍(lán)寶石晶圓作為一種優(yōu)質(zhì)的襯底材料,廣泛應(yīng)用于LED、激光器、光電傳感器等高科技領(lǐng)域。而藍(lán)寶石晶圓的研磨拋光工藝則是制備高質(zhì)量藍(lán)寶石襯底的關(guān)鍵步驟之一。研磨拋光是通過(guò)機(jī)械摩擦和...

    2018-06-06

  • 砷化鎵(galliumarsenide),化學(xué)式GaAs。黑灰色固體,熔點(diǎn)1238℃。它在600℃以下,能在空氣中穩(wěn)定存在,并且不被非氧化性的酸侵蝕。砷化鎵是一種重要的半導(dǎo)體材料,屬Ⅲ-Ⅴ族化合物半導(dǎo)體。砷化鎵晶圓的用途各不相同,主要用于一...

    2018-05-30

  • SerConANCASL/GSL/Integra同位素質(zhì)譜儀預(yù)填充反應(yīng)管-還原管使用我們預(yù)填充管可以為您節(jié)省時(shí)間和金錢:1、直接更換,減少儀器停機(jī)時(shí)間2、無(wú)需測(cè)量或處理化學(xué)試劑,避免遺撒浪費(fèi),避免直接接觸化學(xué)試劑3、高質(zhì)量試劑,標(biāo)準(zhǔn)化制備,...

    2018-04-23

  • PM6型精密研磨拋光系統(tǒng)是英國(guó)Logitech公司推向市場(chǎng),應(yīng)用于眾多半導(dǎo)體領(lǐng)域的自動(dòng)型研磨拋光系統(tǒng)。PM6投入市場(chǎng)后被很多專業(yè)用戶普遍應(yīng)用,受到廣泛贊譽(yù),其中不乏從事有線電視寬帶(CATV)、光纖到戶(FTH)及互聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)等光纖產(chǎn)品及服務(wù)...

    2018-02-26

  • Logitech一直與世界*大學(xué)合作,始終致力于在不同的應(yīng)用領(lǐng)域提供高精度的系統(tǒng)解決方案。我們需要的是高質(zhì)量的、強(qiáng)健的系統(tǒng),這些系統(tǒng)能夠提供*的結(jié)果,并使zui大化。了解我們的客戶的研究和發(fā)現(xiàn):下載我們的客戶案例,通過(guò)對(duì)系統(tǒng)和工藝過(guò)程的研究...

    2017-12-14

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